Sistema tal-Gass tat-Tagħmir tal-Inċiżjoni

Il-pass tal-inċiżjoni jeħtieġ l-użu ta 'varjetà ta' gassijiet tal-inċiżjoni, li huma magħrufa wkoll bħala midja tal-proċess fil-proċess ta 'reazzjoni. Is-sistema tal-gass tat-tagħmir tal-inċiżjoni hija responsabbli għat-trasport tal-mezz tal-proċess mis-sors tal-gass għal ġewwa tal-kamra tar-reazzjoni, li hija magħmula prinċipalment minn kaxxa tal-gass (Gasbox), pjanċa omoġenizzanti (Gaspanel), miter tal-fluss. (MFC), u pipeline.

Il-funzjoni tal-kaxxa tal-gass hija li taġġusta l-pressjoni tal-mezz tal-proċess tal-gass mis-sors tal-gass (ċilindru tal-gass speċjali jew il-pipeline tal-gass tal-fab tal-wafer) permezz ta 'varjetà ta' valvi ta 'kontroll, u mbagħad daħħalha fil-pipeline tal-mogħdija tal-gass ta' it-tagħmir tal-inċiżjoni. Minħabba li ħafna mill-gassijiet użati fil-manifattura ta 'ċirkwiti integrati huma perikolużi, sabiex tiġi żgurata s-sigurtà, il-kabinett tal-kaxxa taċ-ċirkwit tal-gass ġeneralment ikun miksi b'anti-korrużjoni, u titwaqqaf tieqa ta' osservazzjoni esterna, u l-parti ta 'ġewwa hija wkoll fi stat ta 'pressjoni negattiva. Barra minn hekk, il-kaxxa tal-gass hija mgħammra b'varjetà ta 'sistemi ta' monitoraġġ, li immedjatament jaqtgħu l-kunsinna tal-gass u allarmi ladarba tiġi skoperta tnixxija tal-gass. Il-Gaspanel huwa wieħed mill-komponenti ewlenin tas-sistema tal-gass, u huwa wkoll parti tal-metall semikondutturi li hija diffiċli biex tipproċessa. Id-diska ta 'omoġenizzazzjoni hija ġeneralment magħmula minn erba' saffi ta 'diski tal-metall, li kull wieħed minnhom għandu ħafna toqob żgħar u mogħdijiet ta' l-arja kumplessi u żgħar. Wara li l-gass tal-inċiżjoni jiġi aġġustat mill-kaxxa tal-passaġġ tal-gass, jidħol fil-pipeline, u mbagħad jgħaddi mit-trej ta 'omoġenizzazzjoni, u finalment jiġi ttrasportat lejn il-kamra tar-reazzjoni b'veloċità stabbli u uniformi. Id-diska omoġenizzanti jeħtieġ li jkollha l-karatteristiċi ta 'reżistenza għat-temperatura għolja, tniġġis baxx ta' partiċelli u reżistenza għall-korrużjoni, u jeħtieġ li jintużaw metodi speċjali biex iwweldjaw bejn id-diski tal-metall b'ħafna saffi biex jipprevjenu t-tnixxija interna. Minħabba li d-diska ta 'omoġenizzazzjoni hija relatata mal-pass tal-intake tal-arja tal-qalba tal-inċiżjoni, xi kumpaniji tat-tagħmir jagħżlu li jikkooperaw ma' intrapriżi tal-ipproċessar tal-metall ta 'preċiżjoni biex jiżviluppaw u jipproduċu diski omoġenizzanti; Barra minn hekk, il-valvi Fujikin fil-Ġappun huma wkoll manifatturi ta 'diska uniformi importanti.

It-tagħmir tal-inċiżjoni juża miter tal-fluss tal-massa (MFC) biex jimmonitorja u jikkontrolla r-rata li biha l-gassijiet tal-inċiżjoni jidħlu fil-kamra tar-reazzjoni. Minħabba li r-rata tad-dħul tal-arja hija relatata mal-istabbiltà tar-reazzjoni tal-inċiżjoni, it-tagħmir tal-inċiżjoni għandu rekwiżiti għoljin għall-firxa tal-fluss, l-eżattezza tal-kontroll u l-ħin tar-rispons tal-istabbiltà tal-fluss tal-miter tal-fluss tal-massa. Il-miters tal-fluss jistgħu jinqasmu f'tip ta 'ċirkwit analogu, tip ta' ċirkwit diġitali u tip ta 'kumpens għall-bidla fil-pressjoni. Il-miter tal-kumpens tal-bidla fil-pressjoni jista 'awtomatikament jikkumpensa għall-varjazzjoni tal-pressjoni tas-sors tal-gass biex jiżgura l-fluss stabbli tal-ħruġ tal-gass lejn il-kamra tar-reazzjoni. Il-manifattur prinċipali tal-miters tal-fluss tal-massa huwa Horiba fil-Ġappun.