Fotoresist domestiku għadda minnu, u l-monopolju tal-kumpaniji Ġappuniżi fl-aħħar jinħall

Fotoreżisti bħala l-konsumabbli ewlenin tal-litografija tal-manifattura taċ-ċippa, speċjalment materjali high-end ilhom monopolizzati mill-ġganti Ġappuniżi u Amerikani, kumpaniji barranin huma kunfidenzjali ħafna dwar il-materja prima u l-formuli, u aktar minn disgħin fil-mija tal-fotoreżisti ta 'pajjiżna jiddependi fuq l-importazzjonijiet. Madankollu, dan l-aħħar, kien hemm suċċessi frekwenti fil-qasam tal-fotoreżist domestiku - mill-produzzjoni tal-massa ta 'kolla oħxon KRF sal-verifika tal-kolla tal-immersjoni ARF, mill-lokalizzazzjoni tar-reżina sal-avvanz tal-materja prima tal-EUV, battalja teknoloġika siekta iżda qawwija li kienet qed tinvesti fl-ilma fil-fond.

0040-09094 Kamra 200mm

Pereżempju, fit-tul ta 'mewġa ta' 248nm tal-fotoreżist KRF, il-kolla T150A ta 'Wuhan Taiziwei għaddiet il-verifika tal-linja ta' produzzjoni 28NM ta 'SMIC b'riżoluzzjoni ta' 120nm u rendiment ta '93.7%, li toħloq sitwazzjoni ġdida fil-manifattura tal-litografija tas-semikondutturi domestiċi.
Il-kolla tal-KRF ta 'Materjal Ġdid ta' Hengkun kopriet il-proċess ta '7nm, b'kapaċità ta' produzzjoni annwali ta '500 tunnellata biex tissodisfa d-domanda ta' 100,000 wejfers, u l-espansjoni tal-bażi ta 'produzzjoni ANHUI tagħha timmarka l-bidla kwalitattiva tas-sostituzzjoni domestika mil-laboratorju għal produzzjoni tal-massa fuq skala kbira.
Xuzhou Bokang ħakem it-teknoloġija fotoreżista mxarrba 14nm, u għandu l-kapaċitajiet tekniċi ta 'fotoreżist niexef ARF u arf imxarrab, l-ARF niexef tiegħu jista' jiġi applikat għal 90nm / 65nm / 55nm nodes, u ARF imxarrab jista 'jiġi applikat għal 40nm / 28Nm nodes, u tiżviluppa b'mod attiv materjali fotoresisti mxarrba għall-materjali fotoresisti mxarrba għall-fotoresisti mxarrba għal 14NM.
Fil-qasam l-aktar diffiċli tal-fotoreżista tal-193nm ARF, Nanda Optoelectronics saret game-breaker. Ir-rata tad-difett tal-kolla niexfa ARF tagħha hija kkontrollata għal 0.01 pcs / cm², u l-kolla mgħaddsa tlesti l-formula, u r-rata tar-rendiment tiżdied minn inqas minn 40% għal 60% fil-bidu. Għalkemm għad hemm lakuna bir-rata ta 'rendiment internazzjonali ta' 85%, dan l-avvanz ippermetta lill-kolla ARF domestika biex tikseb 30% penetrazzjoni ta 'lokalizzazzjoni fil-linji ta' produzzjoni tal-ħażna tax-xmara Yangtze u SMIC.

0020-42285 Plate, Blocker 8 "KE WXZ

Tongcheng Materials Ġdid introduċa varjetà ta 'KRF b'riżoluzzjoni għolja, fotoreżist ARF u prodotti oħra li għandhom jiġu vverifikati u ċċertifikati fuq in-naħa tal-klijent waħda wara l-oħra, u l-fotoreżist ARF tagħha nbiegħ, u l-awtoproduzzjoni ta' solventi fotoreżisti ġiet realizzata wkoll.
L-awtonomija tal-fotoreżista bl-ebda mod ma hija punt wieħed ta 'avvanz . 50% ta' l-ispiża tagħha hija kkonċentrata fir-reżina, u l-linja ta 'produzzjoni tal-massa ta' 100 tunnellata ta '800 miljun ħin u spazju se żżid il-purità tar-reżina għal 99.999%, u l-impuritajiet tal-metall se jkunu inqas minn 1ppB, li se jnaqqsu direttament l-ispiża tal-gomma domestika.

Fir-rabta tas-solvent upstream, is-solvent PM ta 'grad elettroniku ta' Yida jammonta għal aktar minn 40% tas-suq globali, li jikser il-monopolju tal-Kanto Chemical tal-Ġappun, u jikkoopera ma 'Nanda Optoelectronics biex jiżviluppa reaġenti ta' sostenn, u għalhekk li l-fotoresist jiġi aġġornat minn prodott wieħed għal soluzzjoni tas-sistema.
M’għandniex xi ngħidu, jeħtieġ li wieħed jara li għadu aktar minn 15-il sena wara d-dinja, u fil-preżent, Jiuri New Materials għeleb it-teknoloġija tal-produzzjoni tal-aċidu fotoindott, il-materja prima tal-qalba tal-fotoreżisti tal-EUV, li tkisser il-monopolju ta ’20 sena tal-Ġappun, u li tistabbilixxi l-pedament għat-titjib tal-prestazzjoni fotoresista, iżda l-proċess ta ’debugging tal-proċess tal-ASML huwa diffiċli minħabba l-emitto tat-tagħmir.
Il-varjazzjoni tar-rendiment tal-kolla tal-immersjoni ARFI ġġiegħel lill-fab iġorr l-ispiża ta 'aktar minn 10 miljun wan għal verifika waħda, u ċ-ċiklu ta' ċertifikazzjoni tal-klijent huwa sakemm 18-24 xahar. Fl-istess ħin, is-sitwazzjoni attwali ta '30% tar-raża high-end li tiddependi fuq l-importazzjonijiet Ġappuniżi tissuġġerixxi li s-sigurtà tal-katina tal-provvista għadha mdendla għolja.

Fis-suq tal-fotoreżisti globali, il-pożizzjoni tal-monopolju tal-kumpaniji Ġappuniżi u Amerikani għadha solida, u l-JSR tal-Ġappun, Tokyo Oika, Shin-Etsu Chemical u Fujifilm jokkupaw aktar minn 70% tas-sehem tas-suq globali.
Madankollu, il-prospetti ta 'żvilupp tal-fotoreżist domestiku għadhom wesgħin. Bl-iżvilupp rapidu ta 'teknoloġiji emerġenti bħal 5G, intelliġenza artifiċjali, u l-Internet tal-Oġġetti, id-domanda għal ċipep tas-semikondutturi tkompli tikber, li se tmexxi s-suq fotoresist biex ikompli jespandi.

Konklużjoni

Fuq il-bażi ta 'l-innovazzjoni teknoloġika u l-espansjoni tal-kapaċità, l-intrapriżi domestiċi huma mistennija jkomplu jżidu s-sehem tas-suq tagħhom, jokkupaw pożizzjoni aktar importanti fis-suq fotoreżistiku globali, u jippromwovu l-industrija tas-semikondutturi ta' pajjiżna biex nersqu lejn żvilupp indipendenti u ta 'kwalità u kontrollabbli minħabba l-vantaġġi tal-ispejjeż u l-vantaġġi tas-servizz lokalizzati.